半導体集積回路配線の高周波伝送特性の測定

長谷川 英機  古川 三重子  柳井 久義  

誌名
電子情報通信学会論文誌 B   Vol.J54-B   No.3   pp.108-115
発行日: 1971/03/25
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Print ISSN: 0373-6105
論文種別: 論文・資料
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あらまし: 
本論文では,半導体集積回路の配線を,Si-SiO2系を充填媒質とするマイクロストリップ線路としてモデル化し,その特性インピーダンスの実・虚部,減衰定数,遅波率λg/λ0λg:線路波長,λ0:自由空間波長)を,Siの抵抗率,線路幅,周波数を広範囲に変化させつつ測定している.マイクロ波帯で試料線路の短絡および開放駆動点インピーダンスを十分な精度で測定するため,詳細な検討がなされ,ストリップ線路用定在波測定装置が開発された.測定結果は,無限幅近似に基づく理論と定性的によく一致することが示された.とくに低周波側でλg/λ0=1/15~1/30の遅波モードが伝搬し,臨界抵抗率付近(10-1Ωcm)では,そのモードの上限周波数が数GHzに達することが確認されている.