機械学習を用いたInP変調器の作製プロセス適正化と消光比改善

尾崎 常祐  布谷 伸浩  藤野 昭典  上田 修功  石川 光映  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J103-C   No.3   pp.201-202
公開日: 2020/02/17
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: レター
専門分野: 
キーワード: 
機械学習,  重回帰分析,  光半導体デバイス,  InP変調器,  

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あらまし: 
InP変調器の導波路幅と,消光比測定データに対し,機械学習技術を適用し,導波路幅の最適値及び適正値を算出.解析結果を作製工程に反映することで,消光比歩留まり率99%を達成した.