3次元ストライプドインダクタ構造の最適化による低位相雑音電圧制御発振器の検討

坂本 裕太  小椋 清孝  森下 賢幸  伊藤 信之  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J103-C   No.1   pp.41-44
公開日: 2019/12/13
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: ショートノート
専門分野: 
キーワード: 
インダクタ,  VCO,  低位相雑音,  薄膜メタル,  

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あらまし: 
薄膜メタルのみで構成した3次元ストライプ構造をもつインダクタの最適化を行い,24 GHz VCOの設計・試作・評価を行った.結果,メタル幅はメタル厚さに対し1.5〜2倍程度で最も寄生抵抗は低下し,通常構造のインダクタを用いたVCOと比べ,位相雑音は1.6 dB改善した.