平面回路評価の高精度化を実現するプローブの制御技術

坂巻 亮  堀部 雅弘  

誌名
電子情報通信学会論文誌 C   Vol.J102-C   No.6   pp.212-217
公開日: 2019/05/17
Online ISSN: 1881-0217
DOI: 
論文種別: 招待論文
専門分野: 電子計測・制御
キーワード: 
オンウエハ計測,  Sパラメータ,  高周波プローブ,  不確かさ,  測定技術,  

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あらまし: 
5G通信に代表される通信技術の発展から,平面回路のミリ波帯利用が進んでいる.従来のマイクロ波帯と比べ,ミリ波帯では波長が短くなるため,十分な測定再現性を得るためには,より高度な評価技術が求められる.平面回路の評価にはプローブを用いた測定手法が用いられる.本論文では,平面回路の評価における測定再現性を高める測定技術を提案する.当該測定系の測定不確かさの解析を行い,その解析結果を踏まえて高精度なプローブ位置の制御技術を開発した.本論文ではその技術の概要と190 GHz〜340 GHzでの実証実験について述べる.開発したプローブ位置の制御技術により,測定再現性はおおむね2〜10倍改善した.