キーワード : poly-Si


エキシマレーザアニールpoly-Si膜におけるレーザ照射雰囲気と照射回数が表面モフォロジーに与える影響
菅 勝行 千田 満 原 明人 三島 康由 佐々木 伸夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 630-638
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
エキシマレーザXeClpoly-SiTFT
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エキシマレーザアニーリングにより形成された多結晶シリコンの成長様式―グレーン形状と水素の関係についての検討―
河本 直哉 松尾 直人 阿部 寿 宮井 良雄 浜田 弘喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 659-665
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
エキシマレーザアニーリングSiN基板poly-Si水素結晶成長機構
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高性能多結晶Si薄膜トランジスタの作製と高精細LCDライトバルブの特性改善
浜田 弘喜 阿部 寿 宮井 良雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/02/01
Vol. J84-C  No. 2 ; pp. 65-75
論文種別:  招待論文
専門分野: 
キーワード: 
poly-SiSPCELATFTLCD
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