キーワード : X線リソグラフィ


放射光エッチングによる短ミリ波帯テフロン導波管バンドパスフィルタの試作
岸原 充佳 村上 元規 山口 明啓 内海 裕一 太田 勲 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2016/07/01
Vol. J99-C  No. 7 ; pp. 361-364
論文種別:  ショートノート
専門分野: 
キーワード: 
X線リソグラフィスパッタ蒸着バンドパスフィルタ導波管
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微小音響孔アレーを用いた特性可変吸音デバイス
小西 聡 與田 光宏 杉山 進 秋下 貞夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/03/25
Vol. J82-C2  No. 3 ; pp. 95-100
論文種別:  特集論文 (マイクロマシン関連技術論文小特集)
専門分野: 
キーワード: 
吸音特性可変ヘルムホルツ共鳴器型吸音構造X線リソグラフィ微小音響孔アレー低周波数ノイズ
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