キーワード : ULSI


多層配線技術とスケーリング
吉川 公麿 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2000/02/25
Vol. J83-C  No. 2 ; pp. 105-117
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
多層配線ULSIスケーリング遅延時間
 あらまし | 本文:PDF(2.4MB)

ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
福田 永 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/02/25
Vol. J82-C1  No. 2 ; pp. 35-41
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
シリコン酸化膜酸窒化N2OMOSFETULSI
 あらまし | 本文:PDF(688.1KB)

ギガビットULSIに向けた極薄シリコン酸窒化膜
福田 永 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/02/25
Vol. J82-C2  No. 2 ; pp. 49-55
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
シリコン酸化膜酸窒化N2OMOSFETULSI
 あらまし | 本文:PDF(688.2KB)