キーワード : N空孔


低圧CVD-Si3N4薄膜内の電荷捕獲中心の検討
南 眞一 神垣 良昭 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/12/25
Vol. J77-C2  No. 12 ; pp. 564-572
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
Si3N4薄膜ESRSiの未結合手N空孔電荷捕獲中心MNOS型不揮発性メモリ素子
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