キーワード : MEMS


超低侵襲実装を志向する「細胞化センサ」デバイス
高尾 英邦 森 宏仁 前田 祐作 綿谷 一輝 寺尾 京平 下川 房男 前田 光平 香西 亮吾 
誌名:   
発行日: 2018/01/01
Vol. J101-C  No. 1 ; pp. 9-17
論文種別:  招待論文
専門分野: マイクロ波,ミリ波
キーワード: 
低侵襲技術マイクロセンサIoTTrillion SensorsMEMS触覚センサ
 あらまし | 本文:PDF(3.3MB)

RFスイッチを用いる周波数可変スタブ共振器におけるQ値変動及び周波数切換効率の改善
加藤 知宏 赤司 祐亮 林 拓矢 仙田 一吉 杉原 祐樹 片寄 孝雄 田中 愼一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2013/12/01
Vol. J96-C  No. 12 ; pp. 499-507
論文種別:  特集論文 (大学発マイクロ波論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
周波数可変共振器スタブQRFスイッチMEMS
 あらまし | 本文:PDF(2.3MB)

双音さ形結合子を用いた圧電AlN対称伸び円板振動子
齊藤 健史 木村 悟利 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2013/06/01
Vol. J96-A  No. 6 ; pp. 335-341
論文種別:  特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
円板振動子対称伸び振動AlNMEMS
 あらまし | 本文:PDF(921.6KB)

Geを犠牲層に用いた圧電AlNラム波共振子
平野 圭介 木村 悟利 田中 秀治 江刺 正喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2013/06/01
Vol. J96-A  No. 6 ; pp. 327-334
論文種別:  特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
MEMSGe犠牲層AlN圧電膜ラム波共振子
 あらまし | 本文:PDF(1.5MB)

MEMS-on-LTCC技術を用いた小型チューナブルフィルタ
ミイ  シヤオユウ 豊田 治 上田 知史 中澤 文彦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2012/08/01
Vol. J95-C  No. 8 ; pp. 164-174
論文種別:  招待論文 (LSIと高密度実装から見た異種機能集積技術への期待と課題招待論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
高誘電率LTCCMEMSチューナブルフィルタリコンフィギュラブルなRFフロントエンド
 あらまし | 本文:PDF(10.1MB)

STP法とスクリーン印刷法を組み合わせた新しいMEMS実装技術
真弓 功人 千野 満 田澤 浩 亀井 敏和 町田 克之 日暮 栄治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2010/11/01
Vol. J93-C  No. 11 ; pp. 503-508
論文種別:  特集論文 (先端電子デバイスパッケージと高密度実装における評価・解析技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
MEMS保護膜実装パッケージング
 あらまし | 本文:PDF(512.2KB)

積層MEMSデバイスのためのマニピュレータを用いたウェーハへの 微小部品実装技術
本原 寛幸 中村 幹夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2009/11/01
Vol. J92-C  No. 11 ; pp. 632-639
論文種別:  特集論文 (次世代電子機器における先端実装技術と環境調和型実装技術論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
マニピュレータ微小部品高精度実装MEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.1MB)

MEMSのウェーハレベルパッケージング
江刺 正喜 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/11/01
Vol. J91-C  No. 11 ; pp. 527-533
論文種別:  招待論文 (先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
MEMSマイクロマシニング半導体微細加工パッケージング
 あらまし | 本文:PDF(923.1KB)

セラミックスのパッケージング技術を用いたボール接点式傾斜センサの研究
増田 誉 新井 清嗣 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/01/01
Vol. J90-C  No. 1 ; pp. 76-87
論文種別:  特集論文 (次世代ナノテクノロジー論文特集)
専門分野: ナノセンサ技術
キーワード: 
セラミックス傾斜センサMEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.1MB)

石英ウェーハのプラズマ活性化低温接合
末原 達 モハメド マティアル ラフマン ハウラダル 須賀 唯知 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2005/11/01
Vol. J88-C  No. 11 ; pp. 920-927
論文種別:  特集論文 (先端電子デバイス実装技術と解析・評価技術の最新動向論文特集)
専門分野: SiP要素技術と信頼性解析
キーワード: 
接合ガラスプラズマMEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.3MB)

摩擦駆動モデルを用いた弾性表面波モータの駆動性能評価
浅井 勝彦 黒澤 実 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2003/12/01
Vol. J86-A  No. 12 ; pp. 1453-1463
論文種別:  論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
弾性表面波アクチュエータ摩擦駆動接触解析MEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.7MB)

レーザによる超音波発生とその制御
山中 一司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/12/01
Vol. J86-C  No. 12 ; pp. 1254-1262
論文種別:  招待論文 (光-超音波エレクトロニクス論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
弾性表面波(SAW)バルク波位相速度群速度レーザMEMS
 あらまし | 本文:PDF(877KB)

周期的に配置された円柱状突起による接触を考慮した弾性表面波モータの摩擦駆動モデル
浅井 勝彦 黒澤 実 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2003/12/01
Vol. J86-A  No. 12 ; pp. 1442-1452
論文種別:  論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
弾性表面波アクチュエータ摩擦駆動接触解析MEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.3MB)

エネルギー環流弾性表面波モータ
浅井 勝彦 黒澤 実 樋口 俊郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2003/04/01
Vol. J86-A  No. 4 ; pp. 345-353
論文種別:  論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
弾性表面波アクチュエータエネルギー環流高効率化MEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.7MB)

弾性表面波モータの摩擦駆動モデル
浅井 勝彦 黒澤 実 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2002/12/01
Vol. J85-A  No. 12 ; pp. 1428-1439
論文種別:  論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
弾性表面波アクチュエータ摩擦駆動接触解析MEMS
 あらまし | 本文:PDF(1.3MB)