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| キーワード : MEMS
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双音さ形結合子を用いた圧電AlN対称伸び円板振動子
齊藤 健史 木村 悟利 | 誌名: 電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2013/06/01
Vol. J96-A
No. 6 ;
pp. 335-341
論文種別:
特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集)
専門分野:
キーワード:
円板振動子, 対称伸び振動, AlN, MEMS, | | | あらまし | 本文:PDF(921.6KB) | |
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積層MEMSデバイスのためのマニピュレータを用いたウェーハへの 微小部品実装技術
本原 寛幸 中村 幹夫 | 誌名: 電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2009/11/01
Vol. J92-C
No. 11 ;
pp. 632-639
論文種別:
特集論文 (次世代電子機器における先端実装技術と環境調和型実装技術論文特集)
専門分野:
キーワード:
マニピュレータ, 微小部品, 高精度実装, MEMS, | | | あらまし | 本文:PDF(1.1MB) | |
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MEMSのウェーハレベルパッケージング
江刺 正喜 | 誌名: 電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/11/01
Vol. J91-C
No. 11 ;
pp. 527-533
論文種別:
招待論文 (先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文特集)
専門分野:
キーワード:
MEMS, マイクロマシニング, 半導体微細加工, パッケージング, | | | あらまし | 本文:PDF(923.1KB) | |
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セラミックスのパッケージング技術を用いたボール接点式傾斜センサの研究
増田 誉 新井 清嗣 | 誌名: 電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/01/01
Vol. J90-C
No. 1 ;
pp. 76-87
論文種別:
特集論文 (次世代ナノテクノロジー論文特集)
専門分野: ナノセンサ技術
キーワード:
セラミックス, 傾斜, センサ, MEMS, | | | あらまし | 本文:PDF(1.1MB) | |
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レーザによる超音波発生とその制御
山中 一司 | 誌名: 電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/12/01
Vol. J86-C
No. 12 ;
pp. 1254-1262
論文種別:
招待論文 (光-超音波エレクトロニクス論文特集)
専門分野:
キーワード:
弾性表面波(SAW), バルク波, 位相速度, 群速度, レーザ, MEMS, | | | あらまし | 本文:PDF(877KB) | |
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周期的に配置された円柱状突起による接触を考慮した弾性表面波モータの摩擦駆動モデル
浅井 勝彦 黒澤 実 | 誌名: 電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2003/12/01
Vol. J86-A
No. 12 ;
pp. 1442-1452
論文種別:
論文
専門分野: 超音波
キーワード:
弾性表面波, アクチュエータ, 摩擦駆動, 接触解析, MEMS, | | | あらまし | 本文:PDF(1.3MB) | |
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