キーワード : MEMSスイッチ


水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法
山根 大輔 サン ウィンストン 川崎 繁男 藤田 博之 年吉 洋 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2014/01/01
Vol. J97-C  No. 1 ; pp. 37-45
論文種別:  論文
専門分野: マイクロ波,ミリ波
キーワード: 
RF-MEMSMEMSスイッチ高周波導波路水平駆動シリコン基板
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