キーワード : LSAW高次モード


酸化亜鉛圧電膜と水晶基板を組み合わせた弾性表面波特性
門田 道雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12 ; pp. 706-714
論文種別:  招待論文 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ZnO膜水晶レイリー波LSAW高次モード良好なTCF電気機械結合係数
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