キーワード : InGaAs


InGaAs, InGaAsPにおけるZn拡散プロファイルの理論的及び実験的検討
川面 英司 下瀬 佳治 吉野 啓明 河野 健治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/09/01
Vol. J86-C  No. 9 ; pp. 1028-1029
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
Zn拡散InGaAsInGaAsPInP陰的有限差分ビーム伝搬法電気的活性化率
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Si超薄膜界面制御層を用いたInGaAsMISFETの製作とその電気的特性の評価
謝 永桂 鈴木 敏 澤田 孝幸 長谷川 英機 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/07/25
Vol. J76-C2  No. 7 ; pp. 501-510
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
InGaAsMISFET界面準位密度ドレーン電流ドリフト特性
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