キーワード : GaInAs pin PD


3インチ径InP基板上へのGbit/s帯pin/HEMT受信OEICの作製
矢野 浩 道口 健太郎 村田 道夫 西山 直樹 佐々木 吾朗 林 秀樹 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/05/25
Vol. J77-C1  No. 5 ; pp. 285-292
論文種別:  特集論文 (集積ホトニクス技術論文特集)
専門分野: 半導体デバイス
キーワード: 
受信OEICGaInAs pin PDAlInAs/GaInAs HEMT3インチ径InP基板
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