キーワード : DRAM


高誘電率酸化タンタル膜の低消費電力高集積DRAMへの適用
神力 博 
誌名:   
発行日: 2017/10/01
Vol. J100-C  No. 10 ; pp. 448-456
論文種別:  招待論文 (学会創立100周年記念論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
半導体誘電体DRAM酸化タンタルCVD
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半導体メモリの過去40年の歴史と将来展望
渡辺 重佳 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2009/08/01
Vol. J92-C  No. 8 ; pp. 467-476
論文種別:  招待論文 (エレクトロニクスソサイエティ和文論文誌500号記念論文特集)
専門分野: シリコン材料・デバイス
キーワード: 
半導体メモリDRAMフラッシュメモリ積層化
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貫通ビアを用いた積層DRAM向け高密度パッケージ開発
川野 連也 高橋 信明 栗田 洋一郎 副島 康志 小室 雅宏 松井 聡 内山 士郎 柴田 佳世子 山田 淳二 石野 正和 池田 博明 江川 良実 佐伯 吉浩 加藤 理 菊地 秀和 柳澤 あづさ 三橋 敏郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/11/01
Vol. J90-C  No. 11 ; pp. 724-733
論文種別:  特集論文 (高性能電子機器を支える次世代高密度実装技術と実装材料技術論文特集)
専門分野: 高密度SiP・3次元実装技術
キーワード: 
三次元実装貫通ビアDRAM高密度パッケージ
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TIS(Trench-Isolated-transistor using Side wall gate)を用いたバッファ回路の新設計法とその大容量DRAMへの適用検討
渡辺 重佳 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/03/01
Vol. J86-C  No. 3 ; pp. 301-306
論文種別:  論文
専門分野: 集積エレクトロニクス
キーワード: 
バッファ回路TISチャネル幅DRAMFinFET
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0.10 μm DRAM用MIM/Ta2O5キャパシタプロセスの開発
浅野 勇 中村 吉孝 平谷 正彦 生田目 俊秀 飯島 晋平 佐伯 智則 二瀬 卓也 山本 智志 齋藤 達之 関口 敏宏 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/10/01
Vol. J85-C  No. 10 ; pp. 934-943
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
DRAMキャパシタMIM五酸化タンタルルテニウム窒化タンタル過ヨウ素酸
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Stacked-SGT DRAMを用いた2.4F2メモリセル技術
鈴木 正彦 遠藤 哲郎 桜庭 弘 舛岡 富士雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2000/01/25
Vol. J83-C  No. 1 ; pp. 92-93
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
SSGTSGTDRAM3次元メモリ
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周辺回路の歩留りを考慮したギガビットDRAMの最適冗長回路設計法
渡辺 重佳 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/11/25
Vol. J82-C2  No. 11 ; pp. 648-650
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
DRAM歩留り周辺回路スペア回路
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3次元階層型メモリアレー技術を用いたStacked-SGT DRAM
遠藤 哲郎 神明 克尚 舛岡 富士雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/05/25
Vol. J81-C2  No. 5 ; pp. 488-489
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
SGTDRAMセル面積3次元メモリ
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3次元階層型メモリアレー技術を用いたStacked-SGT DRAM
遠藤 哲郎 神明 克尚 舛岡 富士雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/05/25
Vol. J81-C1  No. 5 ; pp. 288-289
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
SGTDRAMセル面積3次元メモリ
 あらまし | 本文:PDF(130KB)

高誘電率材料(Ba,Sr)TiO3を用いた1G DRAM対応キャパシタ技術
堀川 剛 結城 昭正 芝野 照夫 川原 孝昭 蒔田 哲郎 黒岩 丈晴 山向 幹雄 大森 達夫 三上 登 斧 高一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/09/25
Vol. J79-C2  No. 9 ; pp. 455-462
論文種別:  招待論文
専門分野: 
キーワード: 
(Ba,Sr)TiO3CVDRuスタックトキャパシタメモリセルDRAM
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高誘電率材料(Ba,Sr)TiO3を用いた1G DRAM対応キャパシタ技術
堀川 剛 結城 昭正 芝野 照夫 川原 孝昭 蒔田 哲郎 黒岩 丈晴 山向 幹雄 大森 達夫 三上 登 斧 高一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/09/25
Vol. J79-C1  No. 9 ; pp. 347-354
論文種別:  招待論文
専門分野: 
キーワード: 
(Ba,Sr)TiO3CVDRuスタックトキャパシタメモリセルDRAM
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DRAMセルアレーを用いた動画像用アフィン変換器の一構成法
前田 敏行 佐藤 洋一郎 岡本 卓爾 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-D1  No. 5 ; pp. 191-199
論文種別:  論文
専門分野: 計算機システム
キーワード: 
アフィン変換90度回転動画像マルチメディアDRAM
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