キーワード : AFM


SPM超微細酸化法を用いた単一電子デバイスの作製
宮川 修一 金 良守 白樫 淳一 谷口 研二 松本 和彦 鎌倉 良成 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/03/25
Vol. J81-C2  No. 3 ; pp. 285-290
論文種別:  特集論文 (サブ0.1μmMOSデバイスの実現に向けたプロセス・デバイス技術論文小特集)
専門分野: 
キーワード: 
AFMSETTiCoulomb blockade
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AFMによるアラキジン酸カドミウムLB膜の表面構造の評価
柴田 幹 片岡 昭郎 岡田 裕之 女川 博義 宮下 和雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/08/25
Vol. J76-C2  No. 8 ; pp. 537-544
論文種別:  論文
専門分野: 材料
キーワード: 
LB膜アラキジン酸カドミウムオーバターニングAFM
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