キーワード : 電流検出型原子間力顕微鏡法


電子注入ストレスを加えたゲート酸化膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析
世古 明義 渡辺 行彦 近藤 博基 酒井 朗 財満 鎭明 安田 幸夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2004/08/01
Vol. J87-C  No. 8 ; pp. 616-624
論文種別:  論文
専門分野: 電子材料
キーワード: 
シリコン酸化膜電流検出型原子間力顕微鏡法信頼性ストレス誘起リーク電流トラップ
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