キーワード : 薄膜


高効率太陽電池の研究開発動向と今後の展望
山口 真史 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2014/06/01
Vol. J97-C  No. 6 ; pp. 264-272
論文種別:  特集論文 (Regular Section )
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
太陽電池高効率技術結晶Si化合物半導体薄膜有機系量子・ナノ構造集光型
 あらまし | 本文:PDF(1.9MB)

Al2O3基板上にY,Cu,BaF2をスパッタ成膜した前駆体膜の後熱処理によるYBCO薄膜の作製
佐藤 淳一 羽多野 毅 保坂 純男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2010/09/01
Vol. J93-C  No. 9 ; pp. 311-318
論文種別:  論文
専門分野: 超伝導エレクトロニクス
キーワード: 
YBCOBaF2薄膜Al2O3基板
 あらまし | 本文:PDF(825.6KB)

RFマグネトロンスパッタ法とイオンビームスパッタ法にて作製されたNiCr薄膜の抵抗温度係数特性に及ぼす熱ひずみ効果
岩坪 聡 清水 孝晃 津幡 健 桑原 大輔 谷野 克巳 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/05/01
Vol. J90-C  No. 5 ; pp. 409-416
論文種別:  論文
専門分野: 電子部品
キーワード: 
抵抗温度係数(TCR)NiCr薄膜スパッタリング機械的特性電気的特性
 あらまし | 本文:PDF(2.5MB)

一次元揺らぎがある薄膜によるTM平面波の反射と透過
杉山 俊介 田村 安彦 中山 純一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/03/01
Vol. J90-C  No. 3 ; pp. 246-255
論文種別:  論文
専門分野: 電磁界理論
キーワード: 
反射と透過薄膜確率汎関数法光学定理
 あらまし | 本文:PDF(1.4MB)

フリップチップ接続を有する近傍磁界計測用薄膜微小シールディドループプローブ
玉置 尚哉 増田 則夫 栗山 敏秀 ト 金清 山口 正洋 荒井 賢一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2004/03/01
Vol. J87-C  No. 3 ; pp. 335-342
論文種別:  論文
専門分野: マイクロ波,ミリ波
キーワード: 
シールディドループプローブフリップチップ接続近傍磁界計測薄膜
 あらまし | 本文:PDF(874.6KB)

光音響法によるSiイオンを注入したシリコン基板の熱伝導率とアニール特性の研究
高畠 信也 小林 武 庄 善之 和泉 富雄 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/11/01
Vol. J84-C  No. 11 ; pp. 1100-1105
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
PAS光音響薄膜イオン注入熱伝導率
 あらまし | 本文:PDF(266.7KB)

水熱法によるPZNTZ膜の生成とアクチュエータ特性
寺田 二郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2000/05/25
Vol. J83-C  No. 5 ; pp. 405-414
論文種別:  論文
専門分野: 電子材料
キーワード: 
水熱合成圧電セラミックス薄膜共振周波数
 あらまし | 本文:PDF(1.3MB)

YAGレーザ照射によるBaTiO3系薄膜マイクロPTCサーミスタの作製
佐藤 祐一 川村 俊明 佐藤 進 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2000/04/25
Vol. J83-C  No. 4 ; pp. 294-299
論文種別:  論文
専門分野: 電子材料
キーワード: 
PTCサーミスタBaTiO3YAGレーザマイクロサーミスタ薄膜
 あらまし | 本文:PDF(872.7KB)

圧電セラミックデバイスの展望
藤島 啓 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12 ; pp. 683-688
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
圧電材料圧電セラミックスデバイス薄膜
 あらまし | 本文:PDF(431KB)

島状銀積層膜を用いた超薄型高性能偏光フィルム
八巻 城 馬場 一隆 宮城 光信 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/04/25
Vol. J81-C1  No. 4 ; pp. 247-253
論文種別:  論文
専門分野: 光エレクトロニクス
キーワード: 
島状金属薄膜偏光子光学異方性薄膜
 あらまし | 本文:PDF(505.5KB)

ダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成長
澤邊 厚仁 福田 秀夫 鈴木 一博 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/01/25
Vol. J81-C2  No. 1 ; pp. 162-171
論文種別:  招待論文 (ワイドギャップ半導体とそのデバイス応用論文小特集)
専門分野: ダイヤモンド
キーワード: 
ダイヤモンド薄膜化学気相成長法(CVD)ヘテロエピタキシャル成長下地材料
 あらまし | 本文:PDF(1MB)

弾性表面波アシストによる薄膜位相格子の作成
中川 恭彦 渡辺 昌彦 八幡 充洋 垣尾 省司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 1997/10/25
Vol. J80-A  No. 10 ; pp. 1782-1787
論文種別:  特集論文 (超音波パワーエレクトロニクス論文特集)
専門分野: その他
キーワード: 
弾性表面波位相格子薄膜2次元位相格子
 あらまし | 本文:PDF(487.2KB)

A1蒸着膜の付着力に及ぼす蒸着中の残留ガスの影響
小林 史利 鹿野 哲生 斉藤 保典 野村 彰夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/06/25
Vol. J79-C2  No. 6 ; pp. 323-325
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
アルミニウム薄膜付着力蒸着速度残留ガス
 あらまし | 本文:PDF(164.7KB)

サドルフィールド形イオン源によるBN薄膜の作製における窒素イオンの役割
田中 耕二 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/05/25
Vol. J79-C2  No. 5 ; pp. 191-193
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
窒化ほう素薄膜イオン照射窒素イオン
 あらまし | 本文:PDF(208.9KB)

反応性スパッタ法によるNbCxNy薄膜の生成とその諸特性
牧村 浩明 尾形 博 上村 喜一 小沼 義治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/02/25
Vol. J79-C2  No. 2 ; pp. 37-42
論文種別:  論文
専門分野: 電子材料
キーワード: 
反応性スパッタ法薄膜NbCxNy
 あらまし | 本文:PDF(370.5KB)

A1蒸着膜の付着力に及ぼす蒸着速度制御パターンの影響
小林 史利 野村 彰夫 鹿野 哲生 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/02/25
Vol. J79-C2  No. 2 ; pp. 43-50
論文種別:  論文
専門分野: 電子材料
キーワード: 
アルミニウム薄膜付着力蒸着速度
 あらまし | 本文:PDF(593.6KB)

鉄過剰バリウムフェライト膜の垂直磁気異方性に対する基板温度と成膜後熱処理の影響
平塚 信之 東條 聡 越川 衛一 藤田 実 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/12/25
Vol. J77-C2  No. 12 ; pp. 547-554
論文種別:  論文
専門分野: 材料
キーワード: 
RFマグネトロンスパッタ法薄膜バリウムフェライト成膜後熱処理c軸配向膜
 あらまし | 本文:PDF(629KB)

液相エピタキシャル成長LiNbO3薄膜光導波路とそれを用いた進行波形光変調器の作製と評価
大野 一茂 神山 達也 辻 昌宏 中村 正則 井筒 雅之 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/05/25
Vol. J77-C1  No. 5 ; pp. 229-237
論文種別:  特集論文 (集積ホトニクス技術論文特集)
専門分野: 機能デバイス
キーワード: 
液相エピタキシャル成長薄膜ニオブ酸リチウム電気光学効果進行波形光変調器
 あらまし | 本文:PDF(653.1KB)

YBa2Cu30x薄膜およびYBa2Cu30x/Au/Au/YBa2Cu30xジョセフソン素子の作製
中山 明芳 羽山 茂 大谷 満 中村 健次 岡部 洋一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/06/25
Vol. J76-C2  No. 6 ; pp. 357-363
論文種別:  特集論文 (高温超伝導エレクトロニクス論文小特集)
専門分野: 薄膜・粒界接合・SQUID
キーワード: 
突き合せ接合トンネル形ジョセフソン素子サイドスパッタ式YBa2Cu30x薄膜
 あらまし | 本文:PDF(484.5KB)

抵抗温度係数の小さいNi-Si2元合金薄膜
児玉 淳一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/06/25
Vol. J76-C2  No. 6 ; pp. 493-496
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
非晶質合金薄膜熱処理構造変化抵抗温度係数
 あらまし | 本文:PDF(236.4KB)

オフアクシスY1Ba2Cu307-δスパッタ成膜における水蒸気添加効果
木須 隆暢 円福 敬二 吉田 啓二 土井 秀機 竹尾 正勝 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/06/25
Vol. J76-C2  No. 6 ; pp. 351-356
論文種別:  特集論文 (高温超伝導エレクトロニクス論文小特集)
専門分野: 薄膜・粒界接合・SQUID
キーワード: 
スパッタ薄膜Y1Ba2Cu307-δ酸化水蒸気
 あらまし | 本文:PDF(425.1KB)