キーワード : 自己整合形


結晶粒界位置制御による高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタ
篠原 俊朗 垂井 康夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 268-275
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
多結晶シリコン薄膜トランジスタ自己整合形結晶粒界位置制御
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