キーワード : 自己整合ドレーンコンタクト


SiパワーMOS FETの高周波・高効率化
吉田 功 勝枝 嶺雄 大高 成雄 丸山 泰男 岡部 健明 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/11/25
Vol. J76-C1  No. 11 ; pp. 422-429
論文種別:  特集論文 (移動体通信用高周波技術論文小特集)
専門分野: 電力増幅器,高効率デバイス
キーワード: 
SiパワーMOS FETサブミクロン金属ゲート自己整合ドレーンコンタクト付加効率ディジタル変調
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