キーワード : 自己整合ドレーンコンタクト

SiパワーMOS FETの高周波・高効率化
吉田　功 勝枝　嶺雄 大高　成雄 丸山　泰男 岡部　健明 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/11/25
Vol. J76-C1  No. 11 ; pp. 422-429
論文種別:  特集論文 (移動体通信用高周波技術論文小特集)
専門分野: 電力増幅器，高効率デバイス
キーワード: 
SiパワーMOS FET, サブミクロン金属ゲート, 自己整合ドレーンコンタクト, 付加効率, ディジタル変調, 
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