キーワード : 結晶異方性エッチング


流体式角速度センサにおける流路精度の解析
斎藤 和敬 小松 五郎 加藤 清 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/07/01
Vol. J84-C  No. 7 ; pp. 599-604
論文種別:  論文
専門分野: 機構デバイス
キーワード: 
結晶異方性エッチング角速度センサシミュレーションマイクロマシン
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結晶異方性エッチング解析システムMICROCAD の開発
佐藤 一雄 浅海 和雄 小林 元 入江 康郎 式田 光宏 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/03/25
Vol. J82-C2  No. 3 ; pp. 84-91
論文種別:  特集論文 (マイクロマシン関連技術論文小特集)
専門分野: 
キーワード: 
結晶異方性エッチングエッチング速度データベースシミュレーションCAD
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