キーワード : 経済性


VLSIウェーハ製造工程における検査プロセス戦略の評価
中田 晴己 中前 幸治 藤岡 弘 西山 英利 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/11/01
Vol. J85-C  No. 11 ; pp. 1016-1027
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
評価VLSIウェーハ製造工程検査プロセス戦略汚染低減経済性
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需要分散に対応し得る光ファイバケーブル増設法の検討
森田 英世 辻野 雅之 池内 哲之 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 B
発行日: 1995/12/25
Vol. J78-B1  No. 12 ; pp. 818-824
論文種別:  論文
専門分野: 通信網,通信サービス
キーワード: 
アクセス網光ファイバ増設法共通線シミュレーション信頼性経済性
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