キーワード : 粒径分布


多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性分布シミュレーション
篠原 俊朗 垂井 康夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/10/25
Vol. J75-C2  No. 10 ; pp. 538-545
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
多結晶シリコン薄膜トランジスタシミュレーション特性ばらつき粒径分布
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