キーワード : 環状Si-O骨格


VUV-CVDで生成したシリカ膜の電気特性
本山 理一 黒澤 宏 横谷 篤至 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/08/01
Vol. J86-C  No. 8 ; pp. 913-919
論文種別:  論文
専門分野: レーザ・量子エレクトロニクス
キーワード: 
VUV-CVDXe2エキシマランプ環状Si-O骨格リーク電流比誘電率
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