キーワード : 準金属モード


Pb(Zr,Ti)O3薄膜成長における気相及びターゲットからの酸素導入の検討
金 済徳 佐々木 公洋 畑 朋延 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2000/11/25
Vol. J83-C  No. 11 ; pp. 1036-1042
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
準金属モード酸素供給源反応性スパッタリング強誘電体Pb(Zr,Ti)O3
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