キーワード : 欠陥検査


フラットパネル製造工程におけるデュアルチャネルシステム に基づく欠陥位置特定手法
羽森 寛 坂和 正敏 片桐 英樹 松井 猛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2011/10/01
Vol. J94-C  No. 10 ; pp. 323-333
論文種別:  論文
専門分野: 電子ディスプレイ
キーワード: 
フラットパネル欠陥検査修復高速
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散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターン比較検査アルゴリズム
前田 俊二 酒井 薫 岡部 隆史 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 2005/07/01
Vol. J88-D2  No. 7 ; pp. 1173-1186
論文種別:  論文
専門分野: 画像認識,コンピュータビジョン
キーワード: 
欠陥検査画像認識散布図半導体
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精密な位置合せ不要の濃淡画像比較によるパターン欠陥検査手法
大西 浩之 佐々 泰志 永井 健太 辰巳 昭治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 2003/11/01
Vol. J86-D2  No. 11 ; pp. 1531-1545
論文種別:  論文
専門分野: 画像処理,画像パターン認識
キーワード: 
濃淡画像比較欠陥検査モフォロジー並列パイプライン処理
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インデックス空間を用いた印刷欠陥高速検査法
谷水 克行 目黒 眞一 石井 明 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 D
発行日: 1992/11/25
Vol. J75-D2  No. 11 ; pp. 1818-1826
論文種別:  論文
専門分野: 画像・パターン処理
キーワード: 
カラー印刷物画像処理欠陥検査目視検査自動化
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