キーワード : 斜め蒸着


大きな偏光分離角を有する斜め配向シリコン蒸着膜の低損失化
稲葉 巧 白石 和男 室 幸市 大野 泰司 依田 秀彦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2009/03/01
Vol. J92-C  No. 3 ; pp. 104-105
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
偏光分離素子柱状構造シリコン斜め蒸着
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YBCO薄膜を用いたブリッジ形弱結合素子の特性
朴 賛勲 小林 忠行 後藤 俊成 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/02/25
Vol. J76-C2  No. 2 ; pp. 74-79
論文種別:  論文
専門分野: 超伝導エレクトロニクス
キーワード: 
Y-Ba-Cu-0VTB斜め蒸着低エネルギーイオンビームエッチング定電圧ステップ
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