キーワード : 成膜

RFマグネトロン形ECRスパッタ装置によるZnO膜の特性
門田　道雄 皆方　誠 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1995/11/25
Vol. J78-C1  No. 11 ; pp. 580-586
論文種別:  特集論文 (圧電デバイス論文特集)
専門分野: 弾性表面波デバイス，センサ
キーワード: 
RFマグネトロン形ECR, ZnO, SAW, 成膜, サファイア, エピタキシャル膜, 励起子, 
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ECRスパッタ装置を用いて成膜したZnO膜の圧電的特性
門田　道雄 笠次　徹 皆方　誠 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 1993/02/25
Vol. J76-A  No. 2 ; pp. 138-144
論文種別:  特集論文 (移動体通信用弾性表面波機能素子論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
ECR, ZnO, SAW, 成膜, 電気機械結合係数, 
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