キーワード : 多結晶シリコン


多結晶シリコン薄膜トランジスタの電気特性解析とデバイスシミュレーションによる表裏絶縁膜界面と結晶粒界のトラップ準位の評価
木村 睦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2004/08/01
Vol. J87-C  No. 8 ; pp. 632-640
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
多結晶シリコン薄膜トランジスタpoly-Si TFT電気特性解析デバイスシミュレーション
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擬似2層構造を有する高精度多結晶シリコン抵抗の提案と実験的検討
島本 裕巳 大西 和博 芝 健夫 橋本 尚 菊池 俊之 玉置 洋一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/06/01
Vol. J86-C  No. 6 ; pp. 643-650
論文種別:  論文
専門分野: 集積エレクトロニクス
キーワード: 
多結晶シリコン抵抗素子2層構造温度係数高精度
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金属インプリント法による結晶粒位置制御と単結晶Si薄膜トランジスタへの応用
牧平 憲治 吉井 栄仁 浅野 種正 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 644-650
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
poly-Si TFT核形成位置制御インプリント法固相結晶化多結晶シリコン
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多結晶シリコン薄膜トランジスタの絶縁膜-シリコン界面と結晶粒界のトラップ準位の抽出
木村 睦 野澤 陵一 井上 聡 下田 達也 Basil On-Kit Lui Simon Wing-Bun Tam Piero Migliorato 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 673-683
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
トラップ準位絶縁膜-シリコン界面結晶粒界多結晶シリコン薄膜トランジスタ
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20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
室 幸市 白石 和男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C2  No. 12 ; pp. 676-677
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子多結晶シリコン多層膜偏光スパッタリング
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20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
室 幸市 白石 和男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12 ; pp. 824-825
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子多結晶シリコン多層膜偏光スパッタリング
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エキシマレーザ照射で形成した逆スタガ構造多結晶シリコン薄膜トランジスタ
小野 記久雄 小川 和宏 作田 弘樹 小西 信武 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 249-255
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ多結晶シリコンエキシマレーザTFTLCD
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多結晶シリコンTFTと駆動回路内蔵技術
大島 弘之 松枝 洋二郎 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 227-234
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
TFTLCD多結晶シリコン駆動国路
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レーザアニール法を用いた薄膜トランジスタ作製技術
鮫島 俊之 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 235-240
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
レーザ結晶化レーザアモルファス化レーザドーピングプラズマCVD水素化アモルファスシリコン多結晶シリコン
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結晶粒界位置制御による高性能多結晶シリコン薄膜トランジスタ
篠原 俊朗 垂井 康夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 268-275
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
多結晶シリコン薄膜トランジスタ自己整合形結晶粒界位置制御
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多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性分布シミュレーション
篠原 俊朗 垂井 康夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/10/25
Vol. J75-C2  No. 10 ; pp. 538-545
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
多結晶シリコン薄膜トランジスタシミュレーション特性ばらつき粒径分布
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