キーワード : 多層膜


2重管式同軸線路形MPCVD装置を用いて作製したa-Si:H/Si3N4多層膜の膜質とその光回路素子への応用
加藤 勇 匂坂 雅彦 菅井 貴義 上垣内 岳司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/04/01
Vol. J84-C  No. 4 ; pp. 245-250
論文種別:  論文
専門分野: 光エレクトロニクス
キーワード: 
マイクロ波プラズマCVD多層膜光学的エネルギーバンドギャップ光導波路TMモード透過型光回路素子
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20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
室 幸市 白石 和男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C2  No. 12 ; pp. 676-677
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子多結晶シリコン多層膜偏光スパッタリング
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20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
室 幸市 白石 和男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12 ; pp. 824-825
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子多結晶シリコン多層膜偏光スパッタリング
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非晶質合金多層膜およびこれを用いたVTRヘッドの周波数特性
大友 茂一 山下 武夫 熊坂 登行 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/05/25
Vol. J79-C2  No. 5 ; pp. 183-190
論文種別:  論文
専門分野: 記録・記憶技術
キーワード: 
高周波VTRヘッドCoNbZr非晶質合金スパッタ膜多層膜複素透磁率渦電流損失
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線積層型ゾーンプレート用材料の検討
田村 繁治 大谷 和男 上條 長生 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/11/25
Vol. J76-C2  No. 11 ; pp. 761-762
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
ゾーンプレート多層膜線集光素子スパッタリング
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