キーワード : 基板電位

マイクロ波プラズマ中に設置した電極の電位がプラズマパラメータに与える影響
加藤　勇 松下　亨 山下　真 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/01/25
Vol. J79-C2  No. 1 ; pp. 1-7
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
基板電位, 内管電位, イオン衝撃, プラズマパラメータ, マスクウェル・ボルツマン分布, 
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DRAMの電源投入時における基板電位制御回路
宮本　博司 冨上　健司 諏訪　真人 山田　通裕 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/01/25
Vol. J75-C2  No. 1 ; pp. 38-45
論文種別:  論文
専門分野: 集積エレクトロニクス
キーワード: 
ダイナミックRAM, 電源投入, 基板電位, ラッチアップ, 
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