キーワード : 基板電位


マイクロ波プラズマ中に設置した電極の電位がプラズマパラメータに与える影響
加藤 勇 松下 亨 山下 真 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/01/25
Vol. J79-C2  No. 1 ; pp. 1-7
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
基板電位内管電位イオン衝撃プラズマパラメータマスクウェル・ボルツマン分布
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DRAMの電源投入時における基板電位制御回路
宮本 博司 冨上 健司 諏訪 真人 山田 通裕 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/01/25
Vol. J75-C2  No. 1 ; pp. 38-45
論文種別:  論文
専門分野: 集積エレクトロニクス
キーワード: 
ダイナミックRAM電源投入基板電位ラッチアップ
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