キーワード : 圧電薄膜


RFマグネトロンスパッタ法で成膜したチタン酸鉛(PbTiO3)の特性
三須 幸一郎 永塚 勉 和高 修三 山田 朗 前田 智佐子 田治米 徹 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12 ; pp. 769-776
論文種別:  特集論文 (最近の超音波応用デバイス論文特集)
専門分野: 材料
キーワード: 
チタン酸鉛圧電薄膜薄膜圧電共振器
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層構造弾性表面波基板の2次温度係数制御
中川 恭彦 米田 年麿 小俣 忠大 保坂 桂子 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 1993/12/25
Vol. J76-A  No. 12 ; pp. 1653-1660
論文種別:  論文
専門分野: 超音波
キーワード: 
弾性表面波圧電薄膜温度係数
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