キーワード : 反射防止膜


シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/04/25
Vol. J81-C2  No. 4 ; pp. 455-457
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池反射防止膜シリコン窒化膜プラズマCVD法スペクトル応答
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ホトレジストの感光パラメータ(ABC)測定装置の開発
関口 淳 南 洋一 松澤 敏晴 武澤 亨 宮川 久行 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/12/25
Vol. J77-C2  No. 12 ; pp. 555-563
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
感光パラメータホトレジスト分光光度計形状シミュレーション反射防止膜品質管理多重干渉
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光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/12/25
Vol. J75-C2  No. 12 ; pp. 773-775
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
光CVD法プラズマCVD法損傷効果太陽電池反射防止膜
 あらまし | 本文:PDF(156.4KB)

光CVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/02/25
Vol. J75-C2  No. 2 ; pp. 78-84
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
光CVD法シリコン酸素窒化膜シリコン太陽電池反射防止膜
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