キーワード : 凝固速度


凝固過程制御によるエキシマレーザアニールpoly-Si
能口 繁 桑原 隆 栗山 博之 花房 寛 木山 精一 中野 昭一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 241-248
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
レーザアニールp-SiTFT凝固速度
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