キーワード : 光CVD法


光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/12/25
Vol. J75-C2  No. 12 ; pp. 773-775
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
光CVD法プラズマCVD法損傷効果太陽電池反射防止膜
 あらまし | 本文:PDF(156.4KB)

光CVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/02/25
Vol. J75-C2  No. 2 ; pp. 78-84
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
光CVD法シリコン酸素窒化膜シリコン太陽電池反射防止膜
 あらまし | 本文:PDF(423.8KB)