キーワード : 不活性Zn原子


陰的有限差分ビーム伝搬法によるInP系半導体のZn拡散濃度プロファイル計算
川面 英司 下瀬 佳治 吉野 啓明 河野 健治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2005/04/01
Vol. J88-C  No. 4 ; pp. 234-242
論文種別:  論文
専門分野: レーザ・量子エレクトロニクス
キーワード: 
Zn拡散InP陰的有限差分ビーム伝搬法不活性Zn原子陽差分法
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