キーワード : リン化処理


リン化処理を施した化合物半導体へのショットキー接合
杉野 隆 白藤 純嗣 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/09/25
Vol. J81-C2  No. 9 ; pp. 765-770
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
リン化処理InPGaAsフォスフィンプラズマ光分解ショットキー接合
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