キーワード : ポリSi


TFTの高性能化
野口 隆 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 609-615
論文種別:  招待論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
TFTポリSiLCDELDSPCELASOP
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