キーワード : ポリシリコン


塩素ガスエッチングを用いた微細MOS Elevated Source/Drainプロセス―高選択,ダメージフリーのバッチ処理Siエッチング―
杉野 林志 Unsoon Kim Kyunghoon Min Ning Cheng Huaqiang Wu Chungho Lee Fred Cheung Hiroyuki Kinoshita 上西 雅彦 加藤 寿 多田 新吾 伊藤 隆司 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/07/01
Vol. J91-C  No. 7 ; pp. 363-369
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
Elevated Source/Drainポリシリコンダメージフリーエッチング塩素ガスLPCVD
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液晶ディスプレイ用ポリシリコン薄膜のラマン分光
北原 邦紀 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2004/06/01
Vol. J87-C  No. 6 ; pp. 503-513
論文種別:  解説論文
専門分野: 
キーワード: 
ポリシリコンラマン欠陥応力評価
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炭素電極を使用した電解水によるトレンチポリシリコン洗浄プロセスの検討
宮下 直人 植草 新一郎 勝俣 裕 小寺 雅子 松井 嘉孝 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2003/06/01
Vol. J86-C  No. 6 ; pp. 623-633
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
化学的・機械研磨法ポリシリコン電解イオン水アノード水カソード水
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ラマン分光を用いたTFT-LCD用ポリシリコンの評価
北原 邦紀 野木 博行  亮介 長友 正文 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 651-658
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
液晶ディスプレイポリシリコンラマン欠陥応力
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新しい移動度モデルに基づく多結晶シリコンTFTの2次元解析
山田 想 加藤 典司 小柳 光正 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 291-298
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
薄膜トランジスタポリシリコンデバイスシミュレーション短チャネル効果移動度モデル
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