キーワード : プラズマCVD法

シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価
柴田　登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/04/25
Vol. J81-C2  No. 4 ; pp. 455-457
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池, 反射防止膜, シリコン窒化膜, プラズマCVD法, スペクトル応答, 
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プラズマCVD法によりシリコン酸化膜とシリコン酸素窒化膜の生成
柴田　登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/12/25
Vol. J79-C2  No. 12 ; pp. 747-748
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
プラズマCVD法, 酸素元素, シリコン酸化膜, シリコン酸素窒化膜, 電子親和力, 
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光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田　登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/12/25
Vol. J75-C2  No. 12 ; pp. 773-775
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
光CVD法, プラズマCVD法, 損傷効果, 太陽電池, 反射防止膜, 
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