キーワード : プラズマCVD法


シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/04/25
Vol. J81-C2  No. 4 ; pp. 455-457
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池反射防止膜シリコン窒化膜プラズマCVD法スペクトル応答
 あらまし | 本文:PDF(142.3KB)

プラズマCVD法によりシリコン酸化膜とシリコン酸素窒化膜の生成
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1996/12/25
Vol. J79-C2  No. 12 ; pp. 747-748
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
プラズマCVD法酸素元素シリコン酸化膜シリコン酸素窒化膜電子親和力
 あらまし | 本文:PDF(126.7KB)

光・プラズマCVD法によるシリコン酸化窒化膜の太陽電池への応用
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1992/12/25
Vol. J75-C2  No. 12 ; pp. 773-775
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
光CVD法プラズマCVD法損傷効果太陽電池反射防止膜
 あらまし | 本文:PDF(156.4KB)