キーワード : プラズマダメージ

高温成膜したチタン酸バリウムストロンチウム薄膜を用いた可変容量の集積化プロセス
森脇　政仁 掘露　伊保龍 門田　道雄 江刺　正喜 田中　秀治 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 A
発行日: 2013/06/01
Vol. J96-A  No. 6 ; pp. 342-350
論文種別:  特集論文 (周波数発生・制御デバイスの新展開論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
チタン酸バリウムストロンチウム(BST), 可変容量, トランスファ法, プラズマダメージ, 
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