キーワード : フォトリソグラフィ


電圧制御発振器用グレーティングモード型SAW共振器の作製法-電極指の最適形状と作製プロセスの高精度化の検討-
浅井 健吾 疋田 光孝 礒部 敦 住岡 淳司 多田 剛 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2000/08/25
Vol. J83-C  No. 8 ; pp. 689-697
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
SAW共振器電圧制御発振器グレーティングモードフォトリソグラフィAl電極
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