キーワード : バルクマイクロマシニング


エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用
山根 大輔 サン ウィンストン 川崎 繁男 藤田 博之 年吉 洋 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2012/10/01
Vol. J95-C  No. 10 ; pp. 219-227
論文種別:  論文
専門分野: 機構デバイス
キーワード: 
マイクロ波コプレーナ導波路RF-MEMSSOIウェーハバルクマイクロマシニング
 あらまし | 本文:PDF(1.7MB)