キーワード : スパッタリング


TiO2/TiN混合ターゲットを用いたRFスパッタリングで作製したN添加TiO2多結晶薄膜の配向性の変化
江間 義則 高山 明大 高橋 崇宏 
誌名:   
発行日: 2017/12/01
Vol. J100-C  No. 12 ; pp. 619-622
論文種別:  ショートノート
専門分野: 
キーワード: 
TiO2N添加光触媒スパッタリング結晶配向性
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RFマグネトロンスパッタ法とイオンビームスパッタ法にて作製されたNiCr薄膜の抵抗温度係数特性に及ぼす熱ひずみ効果
岩坪 聡 清水 孝晃 津幡 健 桑原 大輔 谷野 克巳 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2007/05/01
Vol. J90-C  No. 5 ; pp. 409-416
論文種別:  論文
専門分野: 電子部品
キーワード: 
抵抗温度係数(TCR)NiCr薄膜スパッタリング機械的特性電気的特性
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20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
室 幸市 白石 和男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C2  No. 12 ; pp. 676-677
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子多結晶シリコン多層膜偏光スパッタリング
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20°以上の分離角を有する積層形偏光分離素子用光学多層膜の低損失化
室 幸市 白石 和男 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/12/25
Vol. J82-C1  No. 12 ; pp. 824-825
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
積層形偏光分離素子多結晶シリコン多層膜偏光スパッタリング
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線積層型ゾーンプレート用材料の検討
田村 繁治 大谷 和男 上條 長生 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/11/25
Vol. J76-C2  No. 11 ; pp. 761-762
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
ゾーンプレート多層膜線集光素子スパッタリング
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