キーワード : シリコン窒化膜


シリコン窒化膜による反射防止膜の光学的評価
柴田 登 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1998/04/25
Vol. J81-C2  No. 4 ; pp. 455-457
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
太陽電池反射防止膜シリコン窒化膜プラズマCVD法スペクトル応答
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光CVD法によるシリコン窒化膜の熱処理効果
出口 泰 大西 理雄 高橋 芳浩 大西 一功 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1997/04/25
Vol. J80-C2  No. 4 ; pp. 131-138
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
光CVDシリコン窒化膜PDAPMA捕獲電荷界面準位
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