キーワード : シリコン基板


イオン照射によるシリコン基板の高抵抗化技術
井上 剛 八木 宏親 李 寧 平野 拓一 岡田 健一 松澤 昭 
誌名:   
発行日: 2018/09/01
Vol. J101-C  No. 9 ; pp. 344-351
論文種別:  招待論文
専門分野: マイクロ波,ミリ波
キーワード: 
イオン照射シリコン基板高抵抗受動素子低損失低消費電力
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GaNオンSi基板の電極パッドインピーダンスの等価回路モデル
柴田 随道 
誌名:   
発行日: 2017/05/01
Vol. J100-C  No. 5 ; pp. 192-199
論文種別:  特集論文 (エレクトロニクス分野におけるシミュレーション技術の進展論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
窒化ガリウムマイクロ波電力増幅回路配線電極パッドシリコン基板解析モデル
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水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法
山根 大輔 サン ウィンストン 川崎 繁男 藤田 博之 年吉 洋 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2014/01/01
Vol. J97-C  No. 1 ; pp. 37-45
論文種別:  論文
専門分野: マイクロ波,ミリ波
キーワード: 
RF-MEMSMEMSスイッチ高周波導波路水平駆動シリコン基板
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