キーワード : エッチング


イオンビーム照射による水晶振動子の周波数変動の理論解析
塩野 忠久 長田 祐介 中川 恭彦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/03/01
Vol. J91-C  No. 3 ; pp. 194-203
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
水晶振動子周波数調整イオンビームエッチング周波数シフト
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表面波プラズマ源を用いた大型液晶基板のエッチング及びアッシングの高速化
青木 克明 植草 新一郎 山内 健資 山華 雅司 齋藤 秀一 高木 茂行 加納 正明 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/07/01
Vol. J85-C  No. 7 ; pp. 564-573
論文種別:  論文
専門分野: 電子管,真空・ビーム技術
キーワード: 
表面波プラズママイクロ波TFT-LCDエッチングアッシング
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化学エッチングに基づく石英系光ファイバの評価法
物部 秀二 大津 元一 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2001/09/01
Vol. J84-C  No. 9 ; pp. 894-895
論文種別:  レター論文
専門分野: 
キーワード: 
光ファイバエッチング石英ガラス緩衝フッ化水素水溶液走査型電子顕微鏡
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ECRプラズマCVDによるSi薄膜の選択エピタキシャル成長
高田 俊明 佐々木 公洋 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1999/04/25
Vol. J82-C2  No. 4 ; pp. 197-202
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
選択成長低温エピタキシャル成長エッチングECRプラズマCVDSi
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