キーワード : エキシマレーザ


エキシマレーザを用いた有機膜の直接パターニング技術
有沢 崇志 本野 由紘 中 茂樹 岡田 裕之 女川 博義 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2006/06/01
Vol. J89-C  No. 6 ; pp. 416-420
論文種別:  論文
専門分野: 半導体材料・デバイス
キーワード: 
エキシマレーザ有機薄膜パターニング
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エキシマレーザアニールpoly-Si膜におけるレーザ照射雰囲気と照射回数が表面モフォロジーに与える影響
菅 勝行 千田 満 原 明人 三島 康由 佐々木 伸夫 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 630-638
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
エキシマレーザXeClpoly-SiTFT
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エキシマレーザ照射で形成した逆スタガ構造多結晶シリコン薄膜トランジスタ
小野 記久雄 小川 和宏 作田 弘樹 小西 信武 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 249-255
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ多結晶シリコンエキシマレーザTFTLCD
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