キーワード : エキシマレーザアニール


シリコン薄膜の振幅・位相制御エキシマレーザ溶融再結晶化法―新しい2-D位置制御大結晶粒形成法―
井上 弘毅 中田 充 松村 正清 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2002/08/01
Vol. J85-C  No. 8 ; pp. 624-629
論文種別:  特集論文 (低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
エキシマレーザアニール溶融再結晶化薄膜トランジスタ結晶粒径振幅・位相制御法
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高周波プラズマドーピング法の低温多結晶シリコンTFT作製プロセスへの適用
河内 玄士朗 安藤 英美 青山 隆 小西 信武 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1993/05/25
Vol. J76-C2  No. 5 ; pp. 283-290
論文種別:  特集論文 (ジャイアントマイクロエレクトロニクスとその応用論文特集)
専門分野: 
キーワード: 
poly-Si TFT液晶ディスプレイプラズマドーピングエキシマレーザアニール
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