キーワード : イオンビーム


イオンビーム照射による水晶振動子の周波数変動の理論解析
塩野 忠久 長田 祐介 中川 恭彦 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 2008/03/01
Vol. J91-C  No. 3 ; pp. 194-203
論文種別:  論文
専門分野: 超音波エレクトロニクス
キーワード: 
水晶振動子周波数調整イオンビームエッチング周波数シフト
 あらまし | 本文:PDF(1.4MB)

サドルフィールド形イオン源によるB-C-N薄膜の作製
田中 耕二 
誌名:   電子情報通信学会論文誌 C
発行日: 1994/06/25
Vol. J77-C2  No. 6 ; pp. 259-261
論文種別:  レター
専門分野: 
キーワード: 
B-C-N薄膜低圧気相合成イオンビームサドルフィールド形イオン源
 あらまし | 本文:PDF(155KB)